MEMS器件设计

窗格是同步辐射X射线、软X射线、紫外或极紫外样品结构分析或透射成像实验的理想承载体。同步辐射X射线、软X射线、紫外或极紫外样品结构分析或透射成像实验的理想承载体

是工业实践中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等

微流控器件最主要的加工方法是来自于微电子行业的光刻技术和来自于表面图案化的软光刻技术。在上述两种技术的基础上，为了制作完整的微流控微通道，一般还需要对两片材料进行键合。玻璃和硅片等材料通过高温、高压或高电压等方法键合，而PDMS材料通过氧等离子处理进行键合。