用MEMS工艺制造的传感器具有微型化、集成化、可大批量生产等特点。同时，MEMS传感器不仅能够感知被测参数，将其转换成方便度量的信号;而且能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断，因此MEMS也被称为智能传感器。

微型化：MEMS器件体积小，一般单个MEMS传感器的尺寸以毫米甚至微米为计量单位，重量轻、耗能低。同时微型化以后的机械部件具有惯性小、谐振频率高、响应时间短等优点。MEMS更高的表面体积比可以提高表面传感器的敏感程度。

可批量生产：以单个5mm*5mm尺寸的MEMS传感器为例，用硅微加工工艺在一片8英寸的硅片晶圆上可同时切割出大约1000个MEMS芯片，批量生产可大大降低单个MEMS的生产成本。

集成化：MEMS在封装机械传感器的同时，还会通过集成ASIC芯片，来控制MEMS芯片以及转换模拟量为数字量输出。与此同时，微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。随着MEMS的工艺的发展，现在倾向于单个MEMS芯片中整合更多的功能，实现更高的集成度。